1। ভ্যাকুয়াম পাম্প: ভ্যাকুয়াম সিস্টেমের পাওয়ার হাউস
ভ্যাকুয়াম পাম্পগুলি সিলযুক্ত স্থানগুলি থেকে গ্যাস অণুগুলি সরিয়ে ভ্যাকুয়াম পরিবেশ তৈরি করে এবং বজায় রাখে। এগুলি তাদের অপারেটিং রেঞ্জ এবং পদ্ধতির উপর ভিত্তি করে শ্রেণিবদ্ধ করা হয়েছে:
ক। যান্ত্রিক পাম্প
- প্রকারগুলি: রোটারি ভেন পাম্প, স্ক্রু পাম্প।
- নীতি: ঘোরানো উপাদানগুলির মাধ্যমে গ্যাসের যান্ত্রিক সংক্ষেপণ।
রোটারি ভেন পাম্পগ্যাস ফাঁদে ফেলতে এবং সংকুচিত করতে প্রত্যাহারযোগ্য ভ্যানগুলির সাথে একটি উদ্ভট মাউন্ট করা রটার ব্যবহার করুন।
স্ক্রু পাম্পন্যূনতম কম্পন সহ গ্যাস পরিবহনের জন্য দ্বৈত হেলিকাল রোটারগুলির উপর নির্ভর করুন।
- পারফরম্যান্স:
চাপ পরিসীমা: কম ভ্যাকুয়াম (1 × 10⁻ - 760 টর)।
মূল বৈশিষ্ট্য: দ্রুত পাম্পিং গতি, ব্যয়-কার্যকারিতা এবং রুক্ষ ভ্যাকুয়াম পর্যায়ে উপযুক্ততা।
- অ্যাপ্লিকেশন: প্রাক-ভ্যাকুয়াম সৃষ্টি (ফোরলাইন পাম্প), হিমশীতল ড্রায়ার এবং পরীক্ষাগার সরঞ্জাম।
খ। আণবিক পাম্প
- নীতি: উচ্চ-গতির ঘোরানো ব্লেড (20, 000-90, 000 আরপিএম) গ্যাসের অণুগুলিতে গতি সরবরাহ করে, তাদেরকে নিষ্কাশনের দিকে পরিচালিত করে।
- পারফরম্যান্স:
চাপ পরিসীমা: উচ্চ ভ্যাকুয়াম (1 × 10⁻⁹ - 1 × 10⁻ টর)।
মূল বৈশিষ্ট্য: তেল মুক্ত অপারেশন, দূষণ-সংবেদনশীল প্রক্রিয়াগুলির জন্য সমালোচনামূলক।
- প্রকারগুলি:
টার্বো আণবিক পাম্প: দক্ষ গ্যাস সরিয়ে নেওয়ার জন্য মাল্টি-স্টেজ টারবাইন ব্লেড।
হাইব্রিড আণবিক পাম্প: বৃহত্তর চাপ কভারেজের জন্য টার্বো এবং টেনে আনার পর্যায়গুলি একত্রিত করুন।
- অ্যাপ্লিকেশন: সেমিকন্ডাক্টর লিথোগ্রাফি, ইলেক্ট্রন বিম ওয়েল্ডিং এবং পাতলা-ফিল্ম জমা।
গ। ক্রায়োজেনিক পাম্প
- নীতি: গ্যাসের অণুগুলি ঘনীভূত হয় এবং তরল হিলিয়াম বা ক্রিওকুলার ব্যবহার করে 10-20 কে পর্যন্ত শীতল পৃষ্ঠগুলিতে আটকে থাকে।
- পারফরম্যান্স:
চাপ পরিসীমা: অতি-উচ্চ ভ্যাকুয়াম (<1×10⁻¹⁰ Torr).
মূল বৈশিষ্ট্য: কোনও চলমান অংশ নেই, অতি-পরিষ্কার অপারেশন, তবে আটকা পড়া গ্যাসগুলি প্রকাশের জন্য পর্যায়ক্রমিক পুনর্জন্মের প্রয়োজন।
- অ্যাপ্লিকেশন: কণা ত্বরণকারী, স্পেস সিমুলেশন চেম্বার এবং পৃষ্ঠ বিশ্লেষণ সরঞ্জামগুলি (যেমন, এক্স-রে ফটোয়েলেক্ট্রন স্পেকট্রোস্কোপি)।
2। ভ্যাকুয়াম চেম্বারস: শূন্যস্থান ইঞ্জিনিয়ারিং
ভ্যাকুয়াম চেম্বারগুলি স্বল্প চাপের পরিবেশ বজায় রাখার জন্য ডিজাইন করা পাত্রে সিল করা পাত্রে।
নকশা এবং উপকরণ
- স্টেইনলেস স্টিল (304\/316 এল): উচ্চ ভ্যাকুয়াম এবং ক্ষয়কারী পরিবেশের জন্য পছন্দসই (যেমন, প্লাজমা এচিং)।
- অ্যালুমিনিয়াম অ্যালো (6061\/5083): লাইটওয়েট এবং তাপীয়ভাবে পরিবাহী, দ্রুত কুলিংয়ের জন্য আদর্শ (যেমন, ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপ)।
সিলিং প্রযুক্তি
- স্ট্যাটিক সিলস: ধাতব গ্যাসকেট (অতি-উচ্চ ভ্যাকুয়ামের জন্য তামা) বা ইলাস্টোমার ও-রিং (সাধারণ ব্যবহারের জন্য ফ্লুরোকার্বন)।
- গতিশীল সিল: ঘোরানো শ্যাফটগুলির জন্য চৌম্বকীয় তরল সিলগুলি (যেমন, আণবিক পাম্প ড্রাইভ) বা গতি স্থানান্তরের জন্য বেলো।
শিল্প ব্যবহারের ক্ষেত্রে
- লেপ সিস্টেম: অপটিক্যাল বা সেমিকন্ডাক্টর লেপগুলির জন্য শারীরিক বাষ্প ডিপোজিশন (পিভিডি) চেম্বার।
- বৈজ্ঞানিক যন্ত্র: ইলেক্ট্রন বিক্ষিপ্ততা রোধে ভ্যাকুয়ামের প্রয়োজন ইলেক্ট্রন মাইক্রোস্কোপগুলি।
- স্পেস টেস্টিং: স্যাটেলাইট উপাদানগুলির জন্য বহির্মুখী অবস্থার অনুকরণ করা।
3। সনাক্তকরণ যন্ত্র: নির্ভুলতা নিশ্চিত করা
ক। ভ্যাকুয়াম গেজস
এই যন্ত্রগুলি বিভিন্ন ভ্যাকুয়াম স্তর জুড়ে চাপ পরিমাপ করে:
- পিরানী গেজেস: রুক্ষ ভ্যাকুয়াম পর্যবেক্ষণের জন্য আদর্শ তাপীয় পরিবাহিতা পরিবর্তনগুলি (10⁻⁴ - 760 টর) সনাক্ত করুন।
- ক্যাপাসিট্যান্স ম্যানোমিটার: ডায়াফ্রাম ডিফ্লেশন (10⁻⁴ - 1000 টর) এর মাধ্যমে চাপ পরিমাপ করুন, উচ্চ নির্ভুলতার প্রস্তাব দেয়।
- আয়নাইজেশন গেজস: উচ্চ-ভ্যাকুয়াম সিস্টেমের জন্য প্রয়োজনীয় গ্যাস অণুগুলি (10⁻⁰-10⁻ টর) আয়নাইজ করতে ইলেক্ট্রন বোমাবর্ষণ ব্যবহার করুন।
খ। হিলিয়াম ভর স্পেকট্রোমিটার
- নীতি: মাইক্রো-ফুটো দিয়ে পালিয়ে যাওয়া হিলিয়াম ট্রেসার গ্যাস সনাক্ত করুন (সংবেদনশীলতা 10⁻² টর · l\/s এ নিচে)।
- অ্যাপ্লিকেশন:
সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাবস: ফাঁস-মুক্ত ওয়েফার প্রসেসিং চেম্বারগুলি নিশ্চিত করা।
মহাকাশ: মহাকাশযানে জ্বালানী সিস্টেমের অখণ্ডতা বৈধকরণ।
এইচভিএসি: ফ্রিজ সার্কিট সিলগুলি পরীক্ষা করা।
ন্যানোমিটার-স্কেল চিপ বানোয়াট সক্ষম করা থেকে শুরু করে কোয়ান্টাম ফিজিক্স আবিষ্কারগুলি আনলক করা পর্যন্ত, ভ্যাকুয়াম সরঞ্জামগুলি উন্নত প্রযুক্তির মেরুদণ্ড তৈরি করে। শিল্পগুলি যখন ছোট স্কেল এবং উচ্চতর দক্ষতার দিকে এগিয়ে যায়, পাম্প ডিজাইনের উদ্ভাবন, চেম্বারের উপকরণ এবং ফাঁস সনাক্তকরণ বিজ্ঞান এবং প্রকৌশল জুড়ে অগ্রগতি চালিয়ে যেতে থাকবে।